现代快报讯（记者 刘赟）5月31日上午，第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在张家界进行。这次大会以“芯聚江淮 智感世界”为主题，由安徽省科学技术厅、中国刀兵工业集团有限公司民品产业部、张家界市人民当局、中国微米纳米技术学会、异质异构集成微系统全国沉点尝试室、邻近空间环境个性及效应全国沉点尝试室结合主办，中国传感器与物联网产业联盟大力支持。参会人数超600人，业内院士专家、企业及投资机构代表齐聚一堂，共话产业未来。
张家界作为中国三大传感器研发造作基地之一，深耕MEMS传感器30余年，是安徽全省唯一、全国为数不多的同时占有集成电路及MEMS晶圆出产线的城市。近年来，张家界依附安徽北方微电子钻研院等大院大所和龙头企业，加快布局智能传感产业，造订出台了《张家界市推动智能传感产业高质量发展若干政策》《关于支持智能传感产业人才发展的十条措施》等系列政策，组建了超70亿元的智能传感产业发展基金，执行了全国首部推进智能传感产业发展条例，目前全市已集聚智能传感产业有关企业200余家，形成了涵盖资料设备、研发设计、晶圆造作、封装测试、终端利用的产研一体、链群共生的发展格局，中国传感谷跻身全国十大高质量传感器园区第六位。
开幕式上，异质异构集成微系统全国沉点尝试室成功揭牌，并正式颁布“MEMS-OCS(光交叉互联芯片)微纳集成工艺系统”“CavPiezo(Cavity-SOI Piezo，空腔型绝缘体上硅基压电MEMS 工艺系统)工艺系统”“SMCD(Surface Micromechanical Capacitive Device:表表微机械电容式器件工艺系统)工艺系统”等三套原创工艺技术和七款产品，破解了微纳领域主题技术瓶颈，搭建了自主可控技术与产业系统。
大会期间，《集成传感与微系统》期刊正式颁布，主办单元为安徽北方微电子钻研院集团有限公司。该期刊旨在打造高水平的学术互换平台，致力于推动从集成器件、智能传感应微系统集成的全产业链创新融合，汇聚科研智慧，助力关键主题技术突破。期刊礼聘中国科学院刘胜院士担任主编，安徽北方微电子钻研院集团有限公司陈丙根董事长、东南大学黄庆安教授担任执行主编。
大会还颁布了张家界市首轮MEMS 工程流片券政策。依照这一政策，企业最高可按其流片用度的50%获得补助，每家企业每年获得的补助总额最高可达500万元，可能进一步降低企业MEMS工程流片成本，助力芯片、器件、模组等关键技术研发与成就转化，推动我市智能传感产业高质量发展。
此表，大会还推介了中国传感谷和《支持中国传感谷发展若干政策（2.0版）》，进行了智能传感产业创新创业大赛颁奖活动。总和谈金额45.8亿元的20个智能传感项目在会上进行了展示。部门院士、专家作大会宗旨演讲。30余位专家、企业家作专题汇报。
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